SEM扫描电镜的结构和优势
时间:2022-10-14 来源:fzflxx.com 作者:cqw.cc 我要纠错
SEM扫描电镜就是Scanning Electron Microscope,是一种电子显微镜。我们在实验室经常用到的一种仪器就是显微镜,在多个领域的都有很重要的应用。随着科技的发展和进步,SEM分析的作用和能力也是越来越强的,sem扫描电镜是起源于英国,现在也是实验室常备的实验仪器之一。
SEM扫描电镜的原理不同于光学显微镜和透射电子显微镜,SEM扫描电镜的照明光源主要是电子束。电子束会聚焦得很细,然后以光栅扫描的方式照射到试样上面,然后通过电子束和试样的相互作用,产生二次和散射电子,然后在进行收集和处理才能形成放大的图像,这就是SEM扫描电镜的基本原理,SEM分析在断口失效分析、材料成分分析和材料的微观组织分析都起到了很重要的作用。
SEM扫描电镜的结构:主要是SEM由电子光学系统、真空系统及信号收集及显示系统组成。
电子光学系统也是由几部分组成,有电磁透镜、扫描线圈和电子枪以及样品室,主要的作用就是用来获取电子束,能够使样品产生物理信号的激发源。如果想要更高的分辨率和信号的强度,就要提高电子束的亮度和极小的直径。
电子枪的作用就是利用高压产生高能量的电子束,其作用和透射电子显微镜的电子枪的作用比较类似,而且根据电子束的装置不同,还能分为六硼化锏电镜和钨灯丝扫描电镜。
SEM扫描电镜的优点
SEM扫描电镜的倍数比较高,一般是20万倍以上,可以连续调节,而且视野比较大,成像的立体感很强,能够直接看出来样品的表面和微小的结构,而且需要的样品制备很简单,还可以同时进行显微地观察和样品成分的分析,这也是SEM扫描电镜应用广泛的原因。
SEM扫描电镜的原理不同于光学显微镜和透射电子显微镜,SEM扫描电镜的照明光源主要是电子束。电子束会聚焦得很细,然后以光栅扫描的方式照射到试样上面,然后通过电子束和试样的相互作用,产生二次和散射电子,然后在进行收集和处理才能形成放大的图像,这就是SEM扫描电镜的基本原理,SEM分析在断口失效分析、材料成分分析和材料的微观组织分析都起到了很重要的作用。
SEM扫描电镜的结构:主要是SEM由电子光学系统、真空系统及信号收集及显示系统组成。
电子光学系统也是由几部分组成,有电磁透镜、扫描线圈和电子枪以及样品室,主要的作用就是用来获取电子束,能够使样品产生物理信号的激发源。如果想要更高的分辨率和信号的强度,就要提高电子束的亮度和极小的直径。
电子枪的作用就是利用高压产生高能量的电子束,其作用和透射电子显微镜的电子枪的作用比较类似,而且根据电子束的装置不同,还能分为六硼化锏电镜和钨灯丝扫描电镜。
SEM扫描电镜的优点
SEM扫描电镜的倍数比较高,一般是20万倍以上,可以连续调节,而且视野比较大,成像的立体感很强,能够直接看出来样品的表面和微小的结构,而且需要的样品制备很简单,还可以同时进行显微地观察和样品成分的分析,这也是SEM扫描电镜应用广泛的原因。